Електронни и йонни технологии

В произведението са разгледани физичните явления, свързани с генерирането на мощни потоци от електрони и йони. Систематизирани са основните находки относно технологичното взаимодействие между ускорените електрони и йони и различните материали. Обсъдено е нанасянето на тънки слоеве чрез методи като йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. В текста се описват процесите за обработка на микроелектронни структури посредством техники като йонно ецване, имплантация с йони, както и литография с помощта на електрони и йони. Представени са актуални методи за анализ на повърхности и микроструктури, използващи електронни и йонни лъчи. Освен това са анализирани текущото състояние, постиженията в областта на електроннолъчевото заваряване, топене и рафиниране, а също така модификацията на повърхности чрез електроннолъчеви и йоннолъчеви технологии. Предоставена е информация относно конструкцията и принципа на работа на устройствата; изложени са стратегии за избор на технологичните режими; включени са алгоритми за компютърното моделиране на тези процеси, както και обсъждане на резултатите от числените експерименти проведени от автора в партньорство със свои колеги.